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標(biāo)準(zhǔn)露點發(fā)生器可以在相對濕度為0-95%RH的范圍內(nèi)控制。同時可以實現(xiàn)氣體流量，溫度的精確控制。自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術(shù)，可以提供成分濃度穩(wěn)定（波動小于1%）且可以連續(xù)調(diào)控的所需氣體。

科研級露點發(fā)生器在一定條件下能發(fā)生水蒸氣含量穩(wěn)定且可知的氣流或氣氛的裝置的總稱，可以在相對濕度為2-95%的范圍內(nèi)控制。同時可以實現(xiàn)氣體流量，溫度的精確控制。自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術(shù)，可以提供成分濃度穩(wěn)定（波動小于1%）且可以連續(xù)調(diào)控的所需氣體。

雙股流法濕度發(fā)生器非標(biāo)定制利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

雙股流法濕度發(fā)生器利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

小型雙溫雙壓濕度發(fā)生器利用壓強(qiáng)差來產(chǎn)生飽和濕空氣的裝置，能夠提供準(zhǔn)確的濕度環(huán)境是目前準(zhǔn)確度最高的濕度標(biāo)準(zhǔn)源。

濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。